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    常用镀膜真空术语中英文对照

    作者:PVD真空镀膜设备_真空镀膜机_真空电镀设备_蒸发离子镀膜机 来源:致诚科技镀膜系统解决体方案 发布时间:2019-08-11 19:27:14

    镀膜真空术语全集
    1.一般术语
    1-1.压力计pressure gauge:
    1-2.真空计vacuum gauge:
    ⑴.规头(规管)gauge head:
    ⑵.裸规nude gauge :
    ⑶.真空计控制单元gauge control unit :
    ⑷.真空计指示单元gauge indicating unit :

    2.真空计一般分类
    2-1.压差式真空计differential vacuum gauge:
    2-2.绝对真空计 absolute vacuum gauge:
    2-3.全压真空计total pressure vacuum gauge:
    2-4.分压真空计;分压分析器partial pressure vacuum gauge; partial pressure
    analyser:
    2-5.相对真空计relative vacuum gauge :

    3.真空计特性
    3-1.真空计测量范围pressure range of vacuum gauge:
    3-2.灵敏度系数sensitivity coefficient:
    3-4. 电离规系数(压力单位倒数)ionization gauge coefficient (in inverse pressure units):
    3-5.规管光电流photon current of vacuum gauge head:
    3-6.等效氮压力equivalent nitrogen press    常用镀膜真空术语中英文对照_word文档在线阅读与下载_免费文档https://www.mianfeiwendang.com/doc/99819afb0aaf71ff145915e8    ure :
    3-7.X射线极限值 X-ray limit:
    3-8.逆X射线效应anti X-ray effect:
    3-9.布利尔斯效应blears effect:

    4.全压真空计
    4-1.液位压力计liquid level manometer:
    4-2.弹性元件真空计elastic element vacuum gauge:
    4-3.压缩式真空计compression gauge:
    4-4.压力天平pressure balance:
    4-5.粘滞性真空计viscosity gauge :
    4-6.热传导真空计thermal conductivity vacuum gauge :
    4-7.热分子真空计thermo-molecular gauge:
    4-8.电离真空计ionization vacuum gauge:
    4-9.放射性电离真空计radioactive ionization gauge:
    4-10.冷阴极电离真空计cold cathode ionization gauge:
    4-11.潘宁真空计penning gauge:
    4-12.冷阴极磁控管真空计cold cathode magnetron gauge:
    4-13.放电管指示器discharge tube indicator:
    4-14.热阴极电离真空计hot cathode ionization gauge:
    4-15.三极管式真空计triode gauge:

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