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    真空电镀膜层常用靶材

    作者:真空镀膜机_真空镀膜设备_真空电镀设备:PVD技术|磁控溅射 来源:致诚科技镀膜系统解决方案 发布时间:2019-08-21 00:06:34

    彩色系膜层和常规色膜层最大的区别就是C值和H值,所以可以说,黑色也是彩色系膜层。

    锆+氮气:黄绿调金黄色
    锆+甲烷:深浅黑色
    锆+氧气:白色、透明膜
    锆+氮气+甲烷:金色、仿玫瑰金

    铬+甲烷:深浅黑色
    铬+氮气:浅黑色
    铬+氮气+甲烷:银灰色
    铬+氧气:轻黄色、紫色、绿色

    SUS+氧气:紫色
    SUS+氮气:蓝色
    SUS+甲烷:亮黑色
    SUS+甲烷+氮气:蓝黑色

    硅+氮气:黑色
    硅+氧气:混浊白、透明膜
    硅+甲烷:黄色、绿色、蓝色、黑色(靶材纯度高于99%仅能调黑色)

    钛+氧气:光学膜七彩截色,不多介绍都懂。
    钛+甲烷:深浅黑色( DLC制备不能达标)
    钛+氮气:仿金色、黄铜色、紫色、红色
    钛+氮气+甲烷:仿玫瑰金、黑绿色、复古黄、棕色、紫色

    钨+氮气:棕黄色
    钨+甲烷:深浅黑色
    钨+氧气:紫色,鲜黄色,棕色,蓝色

    以上仅装饰薄膜常用材料及其常用气体,通常甲烷和乙炔都可互替,但涉及部分颜色甲烷效果更好。除以上常用材料外,
    金属靶材还有镍、铝、钽、铪、锰、铜、锌、铟、锡、等,均有在镀膜中使用。多质靶材如钛铝、铬铝、钛锆、铜锰、镍铬、硅铝、钒铼、钨钼等等。

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