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    溅控溅射真空镀膜机干燥的过程真空程序有自动和手动两种模式

    作者:真空镀膜设备_真空镀膜机_PVD真空电镀设备_蒸发离子镀膜机 来源:致诚科技镀膜系统解决方案 发布时间:2019-09-04 06:28:25

    溅控溅射真空镀膜机干燥升华前必须在30min内使冷凝器温度达到-40℃以下,然后将冻干箱与冷凝器之间的大蝶阀缓缓打开,等到冻干箱内真空度达到10pa左右转入加热升华干燥。开启油加热器,开循环油泵使油液在搁板内循环加热。这一阶段要使产品冷冻的温度应低于产品共晶点温度并确保产品冻牢。当全部冰晶排除后,第一阶段干燥就完成了,此时约除去全部水分的90%左右。

          真空镀膜机解析干燥是指该阶段的干燥温度可足够的高,只要不烧毁产品和不造成产品过热而变性即可。各板层制品温度达到加热最高温度,其曲线基本一致干燥过程即可结束。第二阶段干燥后,测定冻干物料干燥程度。方法:关闭冻干箱与冷凝器之间的真空阀门,观察在30s~60s内,冻干箱内压力的回升情况,如果冻干箱内的压力没有明显的升高,则可以结束冻干。
    真空镀膜机真空程序有自动和手动两种模式。日本欧姆龙型PLC控制所有泵阀动作;高阀、低阀、预阀,到位信号送入PLC控制信号;PLC程序带故障报警功能,如气压、水流、机械泵等保护及报警;
    工件转动:采用磁流体密封转动装置
    工件烘烤:桶状上烘烤,三点控温,加热器采用管状加热器,配温控仪
    E型电子枪两支,枪功率10KW/支;束偏转角270°;阳极电压为-4KV~-10KV连续可调,稳压精度:±0.5%;束流:0-1000mA可调;具有X、Y方向扫描,扫描波形有三角波、正弦波、矩形波可选择,并能存储每一位坩埚的扫描参数。电子枪主体有屏蔽罩,电子枪输出功率稳定。
    配备美国Inficon的MDC360C型或SQC310石英晶体膜厚仪。
    12英寸的触摸屏,可编程控制器(PLC)中央控制方式及其相关电气控制单元对设 备真空系统、蒸发源系统、烘烤系统、工件转动系统、膜厚监控系统等进行监测和控制,并能把石英晶控的功能在触摸屏上进行操作
    产品推荐:真空镀膜机,真空镀膜设备,真空电镀设备

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