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直流磁控溅射镀膜设备

直流磁控溅射镀膜机-真空镀膜设备

DC Sputtering Vacuum Coating Machine

用高能粒子轰击固体表面,固体表面的原子、分子与入射的高能粒子交换动能后从固体表面飞溅出来的现象称为溅射。溅射出来的原子具有一定的能量,它们可以重新沉积凝聚在固体基片表面上形成薄膜,称为溅射镀膜。

The phenomenon that the atoms and molecules on the solid surface exchange kinetic energy with the incident high-energy particles after bombarding the solid surface with high-energy particles is called sputtering. Sputtered atoms have a certain amount of energy, they can be re deposited and condensed on the surface of solid substrate to form a film, which is called sputter coating.

直流磁控溅射镀膜设备 
DC Sputtering Vacuum Coating Machine

MAGNETRON SPUTTERING VACUUM COATING EQUIPMENT

磁控溅射镀膜设备

用高能粒子轰击固体表面,固体表面的原子、分子与入射的高能粒子交换动能后从固体表面飞溅出来的现象称为溅射。溅射出来的原子具有一定的能量,它们可以重新沉积凝聚在固体基片表面上形成薄膜,称为溅射镀膜。通常是利用气体放电产生气体电离其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶材击出阴极靶材的原子或分子,飞向被镀基片表面沉积成薄膜。

The phenomenon that the atoms and molecules on the solid surface exchange kinetic energy with the incident high-energy particles after bombarding the solid surface with high-energy particles is called sputtering. Sputtered atoms have a certain amount of energy, they can be re deposited and condensed on the surface of solid substrate to form a film, which is called sputter coating. The positive ions bombard the cathode target at high speed under the action of electric field to knock out the atoms or molecules of the cathode target and fly to the surface of the substrate to deposit a film.


设备规格:

Equipment specification:

型号 ZCMS-2121CA
真空室尺寸 Ф2100×H2100mm
制膜种类 多功能金属膜、复合膜、透明导电膜、增返射膜、电磁屏蔽膜、装饰膜等
电源类型 直流磁控电源、中频磁控电源电源、高压离子轰击电源
靶类型 直流磁控靶、中频孪生靶、平面靶、圆柱靶
真空室结构 立式双开门、立式单开门
真空系统 机械泵+罗茨泵+扩散泵+维持泵(或选配:分子泵、深冷系统)
充气系统 质量流量控制仪(1-4路)
极限真空 6×10-4pa(空载、净室)
抽气时间 空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟
工件旋转方式 6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速
控制方式 手动+半自动+全自动一体化/触摸屏+PLC
备注 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做

镀膜样品示例:

Examples of coated samples:

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国际领先水平的镀膜应用解决方案:提供设备、材料、加工、技术、项目配套等系统服务

Zhicheng Technology
International leading solution for coating application:Provide equipment, materials, processing, technology, project supporting system services


本公司可根据用户要求设计各种规格型号的真空镀膜机。
真空机组及电控系统也可根据用户要求进行设计配置。

Our company can design all kinds of vacuum coating machines according to customers' requirements.

The vacuum unit and electric control system can also be designed and configured according to the user's requirements.


致诚真空电镀设备有中频多弧离子镀膜机 、蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机 、磁控蒸发两用镀膜机 、AF镀膜机、超硬质涂层镀膜机。采用在真空条件下,通过蒸馏或溅射等方式在塑件表面沉积各种金属和非金属薄膜。

Zhicheng vacuum plating equipment includes medium frequency multi arc ion coating machine, evaporation coating machine, magnetron sputtering coating machine, magnetron evaporation coating machine, AF coating machine, super hard coating coating machine. Various kinds of metal and nonmetal films were deposited on the surface of plastic parts by distillation or sputtering in vacuum.


致诚科技根据产品的特性匹配最佳的镀膜工艺方案
致诚行业优势特点所在:专业、诚信、可靠。

Zhicheng technology according to the characteristics of products to match the best coating process

Zhicheng industry advantages: professional, honest and reliable.

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