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    DLC涂层设备解决方案

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    DLC涂层涂层设备镀膜解决方案_PVD电镀设备-离子镀膜机-真空镀膜机

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    产品介绍 邓工竭诚为你服务
    服务群体:
    科研院所、涂层中心、航天军工企业

    方案核心:
    能够提供DLC涂层设备及整套工艺技术

    解决方案及优势: 
     
    DLC涂层结构图
            DLC(Diamond Like Carbon)涂层又叫类金刚石涂层,它是一种新型的硬质润滑功能涂层材料,具有SP2和SP3电子轨道杂化的碳原子空间网络结构,通常为非晶态或非晶-纳米晶复合结构。DLC涂层具有较高的硬度、优异的减摩耐磨性能、高热导率、低介电常数、宽带隙、良好的光学透过性以及优异的化学惰性和生物兼容性等,在航空航天、机械、电子、光学、装饰外观保护、生物医学等领域有着广阔的应用前景。DLC涂层适合于磨损和滑动的环境下,在没有任何润滑介质的条件下,可以降低摩擦损耗,可以用于汽车发动机零部件(燃油喷射系统、动力传动系统)、轴承、滚轮、纺织机械、航空航天等众多领域。

            DLC薄膜的制备方法有多种,目前常用的主要有物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)以及液相法等。我公司利用GIMS®气体离子源增强磁控溅射技术制备DLC涂层,向GIS离子源中通入C2H2或CH4等含C气体,GIS放电后分解和离化出C原子和H原子,制备DLC涂层,同时启动MS溅射靶,镀制出掺杂Ti、Cr、W等金属的Me-DLC涂层,DLC涂层硬度2000HV,摩擦系数:0.1-0.2。


    镀膜样品示例:
        
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