真空镀膜机设计应该注意细节

发布时间:2023-03-03浏览量:1801

       为了保证真空镀膜机具有良好的密封性能,必须要在源头切断可能存在漏孔的原因,因此仅仅在设备安装完毕后去寻求漏孔的位置,堵塞漏孔的通道是远远不够的。必须要在设置真空镀膜机设计就要进行真空检漏工作。


致诚科技在设计环节就开始需要进行捡漏的一些真空镀膜注意事项:


1、
根据设备的工艺要求,确定真空镀膜机的总的最大允许漏率,并依据这一总漏率确定各组成部件的最大允许漏率。



2、
根据设备的最大允许漏率等指标,在设计阶段就初步确定将要采用的检漏方法,并将其作为指导调试 验收的基本原则之一。



3、
根据设备或部件的最大允许漏率指标,决定设备的密封、连接方式和总体加工精度,以及何种动密封形式能够满足要求。如,法兰采用金属密封或橡胶密封。



4、
容器结构强度设计时,考虑如果采用加压法检漏被检件所应具有的耐压能力和结构强度。



5、
选择零部件结构材料时,考虑是否使用了可能被工作介质和示漏气体腐蚀而导致损坏的材料。



6、
结构设计时,在容器或系统上要留有必要的检漏仪器备用接口,以便在设备组装、调试过程中检漏使用。尤其是大型、复杂的管路系统,通常需要采用分段检漏方法,因此在管路上要设置分段隔离的阀门,并在每一隔离段上预留检漏仪器接口。



7、
零件结构设计时,尽量避免采用可能干扰检漏工作的设计方案。例如在真空室內螺钉孔不能采用盲孔形式,因为安装螺钉后螺孔内部剩余空间的气体只能通过螺纹间隙逸出,形成虚漏。从而延长系统抽气时间,干扰检漏正常进行。如图真空检漏中不应出现的结构。



8、
与此类似,结构设计中不允许存在连续双面焊缝和多层密封圈结构,因为这会在中间形成“寄生积”内的气体会形成虚漏;而当内、外双侧焊缝或密封圈同时泄漏时,“寄生容积”使示漏气体穿越双层焊缝的响应时间过长,无法正常检漏。



9、
焊接结构设计时,尽量减少总装后无法检漏的焊缝。


       真空镀膜机捡漏工作,是需要在设计、制造、调试、使用各个有关环节中随时进行,但是为了减少后期捡漏工作加重,必须要在源头设计环节,就应该重视捡漏工作,确保真空镀膜机后期环节捡漏环节的减少。


 

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