真空镀膜时为什么要用到高纯气体

发布时间:2023-03-03浏览量:1512

        在真空离子镀膜设备工作中,所选用不同气体所生产出来的,液态气体色泽也会不一样,氩气一般用作创造镀膜的环境镀钛和铬时,工业气体充入氮气可生产出银色和黄色的产品而想要生产出黑色或灰色的产品,则需要加入乙炔气体加入氧气则生产蓝色的产品。除了气体外所生产出的产品颜色还受压力、温度、时间等条件影响。


 

真空电镀蒸发是气体利用的什麽原理?
在高真空度的条件下,高纯度的镀层金属(如铝)在高温下蒸发后会自由地飞散开并沉降在工件表面,形成镀层。氩气为保护性气体,防止氧化反应影响镀层质量。


 

氩气在电镀过程中有何用?
氩气不参与反应,只是增加气压,改善镀膜时靶的放电条件,氩气不是用于镀膜,主要用于创造镀膜的环境。氮气和氩气都是惰性气体,冲进去以后,一 可以排除氧气,防止氧化,二更具氮气和氩气在扩散泵内的含量比例不同,可以镀膜出不同的颜色.主要是为了改变镀膜出来产品的色彩.


 

真空镀膜行业中,氩气的流量大小具体如何控制?
如果是说镀膜时为了调节压力使用的气体 个人认为如下:氩气如果只是调节压力,一次压可以不计,但是二次压要小于0.5个大气压。氮气也是,主要是因为如果大了,会导致真空仓内的压力变化太剧烈,导致误差。如果是使用离子源,那么氩气入气量不宜过大,大了导致离子量过大,烧坏部件。压力和上边没什么差别。


 

         任何固体材料在大气环境下都会溶解和吸附一些气体,当材料置于真空状态时就会因为脱附、解析而出气。出气的速率与材料中的气体含量成正比。不同的材料解析的气体成分及解析的温度及时间是不同的。


 

         各种泵对不同成分的气体抽气速率也是不一样的。抽真空时,首先抽走的是容器中的大气(这部份气体很快被抽走,10-1Pa时炉内气体基本抽尽),然后是材料表面解吸的气体、材料内部向表面扩散出来的气体,以及通过器壁滲透到真空中的气体.因此在货品进入炉内之后,都要进行保温除气,因为货品在进炉前会吸附一些杂质气体,我们要通过适当的加热,让这些气体解析脱附货品的表面。以不锈钢为例,除了在它表面吸附的气体之外,在不断的加热保温过程中钢内部还会析出一些气体,这些气体的存在往往对薄膜的纯度和颜色有较大的影响,对膜层附着力影响也很大。


 

        因此真空镀膜机镀膜时,膜层的好坏,气体启着关键性的作用,是镀膜环节不可或缺的一步。


PVD镀膜涂层常用置配::

彩色系膜层和常规色膜层最大的区别就是C值和H值,所以可以说,黑色也是彩色系膜层。

锆+氮气:黄绿调金黄色

锆+甲烷:深浅黑色

锆+氧气:白色、透明膜

锆+氮气+甲烷:金色、仿玫瑰金

铬+甲烷:深浅黑色

铬+氮气:浅黑色

铬+氮气+甲烷:银灰色

铬+氧气:轻黄色、紫色、绿色

SUS+氧气:紫色

SUS+氮气:蓝色

SUS+甲烷:亮黑色

SUS+甲烷+氮气:蓝黑色

硅+氮气:黑色

硅+氧气:混浊白、透明膜

硅+甲烷:黄色、绿色、蓝色、黑色(靶材纯度高于99%仅能调黑色)

钛+氧气:光学膜七彩截色,不多介绍都懂。

钛+甲烷:深浅黑色( DLC制备不能达标)

钛+氮气:仿金色、黄铜色、紫色、红色

钛+氮气+甲烷:仿玫瑰金、黑绿色、复古黄、棕色、紫色

钨+氮气:棕黄色

钨+甲烷:深浅黑色

钨+氧气:紫色,鲜黄色,棕色,蓝色

以上仅装饰薄膜常用材料及其常用气体,通常甲烷和乙炔都可互替,但涉及部分颜色甲烷效果更好。除以上常用材料外,


 

金属靶材还有镍、铝、钽、铪、锰、铜、锌、铟、锡、等,均有在镀膜中使用。多质靶材如钛铝、铬铝、钛锆、铜锰、镍铬、硅铝、钒铼、钨钼等等。


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